半導體製程設備與精密工具機, 兩種設計理念差異極大的設備, 精密度次微米(Sub micron)等級...

半導體製程設備與精密工具機, 兩種設計理念差異極大的設備, 精密度次微米(Sub micron)等級是共同世代需求...

🔥🔥【次微米級設備設計實務】
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1.半導體設備與工具機基本差異
2.精密設備組裝技術與缺失
3.次微米級設備設計要項
4.定位精度與整定時間
5.振動等級與振動抑制需求
6.被動隔振與主動抑振
7.氣靜壓主軸與定位平台
8.實例討論Q & A

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